管式炉

产品详情

一、应用领域
设计用于中温 CVD 工艺。如 ZnO 纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导
电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。

二、技术指标
设备型号: KCVD(D)-250/750/3
*温度: 1050℃
工作温度: RT~1000℃
加热区长度: 750mm
炉管实际尺寸: Φ250(外径)×1750mm (高纯气炼石英管)
炉膛材料: 氧化铝、高铝和硅酸铝纤维制品
控制温区个数: 3 个,K 分度热偶
控温精度: ±1℃,单回路智能 64 段程序仪表控制,PID 参数自整定
整个升温过程中温度过冲不超过±5 度
加热元件: FEC 陶瓷纤维加热器,瑞典进口 Kanthal 发热丝
*加热功率: 18Kw
空炉保温功率: 约 7Kw
升温速率:≤75min(900℃)
气氛系统:3 炉气体(氮气、氧气、氩气)浮子流量计控制
输入动力电源: 三相电源,50HZ ,380V±10%
炉体表面温升: ≤35℃。
外形尺寸:约 1750*1200*830(L*H*W)

三、结构介绍
KCVD(Z)-250/750/3 中温气氛管式炉炉管总长约 1.75 米,加热区长度为
750mm。加热元件采用进口电阻丝微露陶瓷纤维板(FEC)加热,*加热功率 18kw。 两端保温区长各 170mm。炉管一端可同时通入 3 路气体进入混合罐通入炉膛,气体流量用浮子或质量流量计控制,另一端接排气阀。

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